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La competencia de EUV se extiende a equipos periféricos de semiconductores

En torno a la nueva generación de tecnología de fabricación de semiconductores "EUV (Extreme Ultraviolet Light)", la competencia entre las empresas de equipos se ha intensificado. Tokyo Electronics invertirá un costo de desarrollo récord en el año fiscal 2020 (a partir de marzo de 2021), y la cartera de pedidos de Lasertec se ha duplicado en el último año. En el mercado de equipos relacionados con EUV, el ASML holandés monopoliza la máquina de litografía central, pero en los campos de inspección y fuente de luz, la presencia de empresas japonesas también está mejorando.

Toshiki Kawai, presidente de Tokyo Electronics, el tercer mayor fabricante mundial de equipos de fabricación de semiconductores, dijo: "Si se populariza el EUV, aumentará la demanda de equipos de gama alta". En el año fiscal 2020, invertirá un récord de 135 mil millones de yenes en gastos de investigación y desarrollo. .


La ventaja de Tokyo Electronics es "Coater Developer". Este equipo se utiliza para recubrir un líquido químico especial en una oblea de silicio como material semiconductor para desarrollarlo. En el campo de los equipos de producción en masa de EUV, la cuota de mercado de la empresa es del 100%. Se espera que las ventas consolidadas para este año fiscal alcancen 1,28 billones de yenes. Más del 10% de esto se utilizará para investigación y desarrollo para consolidar la vanguardia en la etapa de popularización de EUV.

En el mercado de equipos de fabricación de semiconductores de más de 6 billones de yenes por año, se están produciendo cambios generacionales.

Cuanto más fino es el ancho de la línea del circuito de un semiconductor, mayor es el rendimiento y el producto de vanguardia actual es de 5 nanómetros. Para transferir un circuito tan delgado a una oblea de silicio, la máquina de litografía EUV es indispensable. Con el aumento de la oferta de ASML, el único método EUV producido en masa en el mundo, también ha comenzado la competencia por el desarrollo, que incluye equipos periféricos como revestimiento y fuentes de luz.

El símbolo del cambio generacional es el fabricante de equipos de prueba Lasertec. Si hay defectos en la fotomáscara como la placa de circuito original, la tasa de defectos del semiconductor aumentará en consecuencia. La compañía produce equipos de prueba que admiten EUV, y sus pedidos desde julio de 2019 hasta marzo de 2020 han aumentado 2.2 veces respecto al mismo período del año pasado, llegando a 65.800 millones de yenes. Se espera que dos tercios de los pedidos anuales estén relacionados con EUV.

Además, también se están produciendo feroces enfrentamientos entre empresas japonesas. En el campo de las máquinas de escribir máscaras de haz de electrones, la tecnología NuFlare de Toshiba se está poniendo al día con la alianza entre JEOL y IMS NANOFABRICATION (Austria). La atención se centra en el desarrollo de la tecnología "Multi-Beam" utilizando 260,000 rayos láser.

En enero, Toshiba repelió a HOYA, que inició un TOB hostil (oferta pública), y consolidó su control sobre Niu Fulai. 25 técnicos de desarrollo recién enviados, etc., planean suministrar equipos de litografía de próxima generación compatibles con EUV en 2020.

Gigaphoton (ubicado en la ciudad de Oyama, prefectura de Tochigi), una subsidiaria de Komatsu que produce fuentes láser, está esperando su regreso. Antes de la llegada de EUV, la compañía se convirtió en una de las dos mejores en el campo de las fuentes de luz para máquinas de litografía. Sin embargo, debido a razones como la adquisición de un competidor por parte de ASML, actualmente está perdiendo su presencia. Gigaphoton se esfuerza por desarrollar componentes de fuente de luz de alto rendimiento antes de que ASML lance equipos EUV de próxima generación para recuperar su participación en el mercado.

El trasfondo para que las compañías aceleren el desarrollo de equipos EUV es la competencia de miniaturización lanzada por Samsung Electronics y TSMC de Corea del Sur. La demanda de semiconductores de alto rendimiento como 5G es fuerte, y las dos compañías están compitiendo por cada máquina de litografía ASML por un valor de más de 20 mil millones de yenes. En este proceso, las oportunidades comerciales para las empresas de equipos de fabricación de los alrededores también se están expandiendo.

Las estadísticas de la Asociación Internacional de Materiales y Equipos de Semiconductores (SEMI) y la Asociación de Equipos de Fabricación de Semiconductores de Japón (SEAJ) muestran que la cuota de mercado de los equipos de fabricación de semiconductores fabricados en Japón fue del 31,3% en 2019, que ha rondado el 30% en el pasado 20 años.

En el campo de los equipos de litografía, Nikon y Canon habían barrido previamente el mercado mundial, pero fallaron en la competencia con ASML y se retrasaron en el desarrollo de EUV. En el campo de los semiconductores, a medida que el proceso de fabricación se vuelve difícil, la tendencia del ganador se lleva todo está aumentando. El cambio generacional que toma EUV como una oportunidad también acelerará la supervivencia del más apto en las empresas de equipos.

"La inversión en equipos de vanguardia en el mercado continental ha cesado", suspiró el jefe de las empresas de piezas y componentes relacionadas con EUV. Como el gobierno holandés no lo aprobó, ASML no ha podido exportar máquinas de litografía EUV al continente. Además, también se suspende la compra de equipos periféricos y piezas.

Hay fricción comercial entre China y los Estados Unidos detrás de esto. Si no se puede importar el equipo ASML, los fabricantes de semiconductores del continente se quedarán rezagados en la competencia de miniaturización. El gobierno continental propone el objetivo de que la tasa de autosuficiencia de semiconductores alcance el 40% para 2020 y el 70% para 2025, pero esto es difícil de lograr. Muchos puntos de vista creen que Estados Unidos ejerció presión sobre el gobierno holandés para usarlo como arma de sanciones.

Las estadísticas de la International Semiconductor Equipment and Materials Association muestran que el mercado de equipos de fabricación de semiconductores en 2019 fue de 59.700 millones de dólares, un aumento del 59% con respecto a 2014. Durante este período, el mercado continental aumentó su presencia y su participación en el mundo El mercado general ha aumentado del 11,6% en 2014 al 22,5%. Para las empresas japonesas de equipos de fabricación de semiconductores, el continente se ha convertido en un mercado difícil de ignorar.

El desarrollo de la tecnología EUV es difícil y los costos de I + D de todas las empresas se están expandiendo. Si el mercado ya no se expande, el retorno de la inversión de las empresas se retrasará y el desarrollo de nuevas tecnologías puede ser difícil de avanzar.